Измерение удельного сопротивления силицидных омических контактов к кремнию р-типа методом линии передачи
DOI:
https://doi.org/10.25206/1813-8225-2018-162-169-173Ключевые слова:
измерение удельного контактного сопротивления, TLM- метод, кремний р-типа, силицидные омические контактыАннотация
Рассмотрен способ определения удельного контактного сопротивления методом линии передачи. Этот способ использован на изготовленных и измеренных силицидных омических контактах к кремнию р-типа (с номинальным удельным сопротивлением ρ=10 Ом‧см) на основе систем PtAg, PdAg и NiAg. Показано, что система PtAg имеет наиболее низкие значения ρк=(5,5…5,6)‧10-2 Омсм2.
Скачивания
Данные скачивания пока недоступны.
Опубликован
18.01.2019
Как цитировать
[1]
Бурлаков, Р.Б. 2019. Измерение удельного сопротивления силицидных омических контактов к кремнию р-типа методом линии передачи. ОМСКИЙ НАУЧНЫЙ ВЕСТНИК. 6(162) (янв. 2019), 169–173. DOI:https://doi.org/10.25206/1813-8225-2018-162-169-173.
Выпуск
Раздел
Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы
Лицензия
Неисключительные права на статью передаются журналу в полном соответствии с Лицензией Creative Commons BY-NC-SA 4.0 «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция-Некоммерчески-СохранениеУсловий») 4.0 Всемирная (CC BY-NC-SA 4.0)
