Простой способ оценки толщины нанометровой прозрачной пленки SiO в процессе ее термовакуумного осаждения

Авторы

  • Рудиарий Борисович Бурлаков Омский государственный университет им. Ф. М. Достоевского, г. Омск

DOI:

https://doi.org/10.25206/1813-8225-2018-161-115-118

Ключевые слова:

нанометровые пленки, термовакуумное осаждение, оценка толщины нанометровой пленки

Аннотация

Рассмотрен модифицированный простой способ оценки толщины нанометровой прозрачной пленки SiO в процессе ее термовакуумного осаждения. Для оценки толщины пленки на рабочей подложке используется интерференционная окраска прозрачной пленки, одновременно осаждаемой на контрольной подложке, расположенной на значительно меньшем расстоянии от малого испарителя по сравнению с расстоянием от малого испарителя до рабочей подложки. Использование этого способа позволяет упростить технологию изготовления нанометровых прозрачных пленок.

Скачивания

Данные скачивания пока недоступны.

Биография автора

Рудиарий Борисович Бурлаков, Омский государственный университет им. Ф. М. Достоевского, г. Омск

кандидат физико- математических наук, доцент (Россия), доцент кафедры «Прикладная и медицинская физика».

Загрузки


Просмотров аннотации: 6

Опубликован

23.11.2018

Как цитировать

[1]
Бурлаков, Р.Б. 2018. Простой способ оценки толщины нанометровой прозрачной пленки SiO в процессе ее термовакуумного осаждения. ОМСКИЙ НАУЧНЫЙ ВЕСТНИК. 5(161) (ноя. 2018), 115–118. DOI:https://doi.org/10.25206/1813-8225-2018-161-115-118.

Выпуск

№ 5(161) (2018)

Раздел

Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы

Лицензия

Неисключительные права на статью передаются журналу в полном соответствии с Лицензией Creative Commons BY-NC-SA 4.0 «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция-Некоммерчески-СохранениеУсловий») 4.0 Всемирная (CC BY-NC-SA 4.0)

by-nc-sa

Похожие статьи

Вы также можете начать расширеннвй поиск похожих статей для этой статьи.