Определение удельного сопротивления омических контактов к полупроводниковым пластинам методом Кокса–Стрека
DOI:
https://doi.org/10.25206/1813-8225-2018-160-119-123Ключевые слова:
омические контакты, полупроводниковая пластина, измерение контактного сопротивления, метод Кокса–Стрека, оптимизация измеренийАннотация
Рассмотрен модифицированный вариант метода Кокса–Стрека, который позволяет уменьшить количество фронтальных контактов на тестовом образце до 2 и одновременно исключить операцию экстраполяции графиков при
определении удельного контактного сопротивления ρК. Показано, что вклад контактного сопротивления RK в полное сопротивление RT тестовой структуры принимает более высокие значения, когда диаметр d фронтального контакта
лежит в интервале 40–1040 мкм, что способствует более эффективному процессу контроля удельного сопротивления омических контактов к полупроводниковым пластинам.
Скачивания
Опубликован
Как цитировать
Выпуск
Раздел
Лицензия
Неисключительные права на статью передаются журналу в полном соответствии с Лицензией Creative Commons BY-NC-SA 4.0 «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция-Некоммерчески-СохранениеУсловий») 4.0 Всемирная (CC BY-NC-SA 4.0)
