Зондовое устройство для электрических измерений параметров тонких легированных пленок ZnO

Авторы

  • Александр Иосифович Блесман Омский государственный технический университет, г. Омск https://orcid.org/0000-0003-2837-3469
  • Рудиарий Борисович Бурлаков Омский государственный университет им. Ф. М. Достоевского, г. Омск

DOI:

https://doi.org/10.25206/1813-8225-2020-169-67-72

Ключевые слова:

электрические измерения параметров, зондовое устройство, метод эффекта Холла, тонкие пленки ZnO

Аннотация

Рассмотрено устройство для электрических измерений параметров тонких легированных пленок ZnO. На основе использования этого зондового устройства измерена методом эффекта Холла концентрация электронов проводимости в тонких легированных индием пленках ZnO, имеющих толщину в интервале (0,065–0,3) мкм, концентрацию электронов проводимости в интервале (2–3,4) ⋅1019 см–3 и низкую подвижность электронов проводимости — (4–8,5) см2/B⋅c. Достоинством зондового устройства является возможность уменьшения напряжения асимметрии холловских зондов.

Скачивания

Данные скачивания пока недоступны.

Биографии авторов

Александр Иосифович Блесман, Омский государственный технический университет, г. Омск

кандидат технических наук, доцент (Россия), заведующий кафедрой «Физика», директор научно-образовательного ресурсного центра «Нанотехнологии» Омского государственного технического университета.

Рудиарий Борисович Бурлаков, Омский государственный университет им. Ф. М. Достоевского, г. Омск

кандидат физико-математических наук, доцент (Россия), доцент кафедры «Прикладная и медицинская физика» Омского государственного университета им. Ф. М. Достоевского.

Загрузки


Просмотров аннотации: 6

Опубликован

10.03.2020

Как цитировать

[1]
Блесман, А.И. и Бурлаков, Р.Б. 2020. Зондовое устройство для электрических измерений параметров тонких легированных пленок ZnO. ОМСКИЙ НАУЧНЫЙ ВЕСТНИК. 1(169) (мар. 2020), 67–72. DOI:https://doi.org/10.25206/1813-8225-2020-169-67-72.

Выпуск

№ 1(169) (2020)

Раздел

Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы

Лицензия

Неисключительные права на статью передаются журналу в полном соответствии с Лицензией Creative Commons BY-NC-SA 4.0 «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция-Некоммерчески-СохранениеУсловий») 4.0 Всемирная (CC BY-NC-SA 4.0)

by-nc-sa