Вакуумный испаритель для изготовления тонких пленок сублимируемого материала

Аннотация

Предложенный вакуумный испаритель может быть использован при вакуумном изготовлении пленок из Cr, Mg, Mn, SiO, GeO, MoO3, WO3, ZnS, ZnSe, CdS, CdSe, CdTe путем сублимации. Вакуумный испаритель, содержащий трубча-
тый элемент с плотно закрытыми плоскими концевыми участками, выполнен из Та (или Мо) фольги с толщиной (0,05–0,1) мм с высокой температурой плавления и испарения и содержит центральную область радиального попе-
речного сечения с отверстием в виде овала, расположенную между плоскими концевыми участками, имеющими переменную площадь токового сечения, которая уменьшается в направлении от центра трубчатого элемента к его
концам. Предложенный испаритель имеет более широкие эксплуатационные и технологические возможности, так как для изготовления испарителя используют металлическую фольгу, что позволяет при его изготовлении изменять размеры испарителя. При этом предложенный испаритель можно использовать для нанесения пленок неоднократно, выполняя его повторную загрузку без удаления из вакуумной камеры.