Морфология макропор в n-Si, сформированных в NH4F-содержащих растворах при фотоанодировании
DOI:
https://doi.org/10.25206/1813-8225-2020-173-79-83Ключевые слова:
макропористый кремний, фотоанодирование, электронная микроскопияАннотация
Изучены особенности порообразования при фотоанодировании в электролитах на основе фторида аммония в зависимости от освещения, pH, плотности тока. При сравнении электролитов с различным pH (кислотным и щелочным) наблюдается уменьшение диаметра пор при одинаковом освещении и плотностях тока в щелочных растворах HF:NH4OH при относительно равной скорости травления в глубину. В разбавленном HF:NH4OH:H2O при слабом освещении наблюдается прямое растворение кремния с образованием «звездчатой» морфологии пор и тенденции ветвления. В случае концентрированного раствора HF:NH4OH 1:4 ветвление наблюдается при повышении плотности тока.
Скачивания
Опубликован
Как цитировать
Выпуск
Раздел
Лицензия
Неисключительные права на статью передаются журналу в полном соответствии с Лицензией Creative Commons BY-NC-SA 4.0 «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция-Некоммерчески-СохранениеУсловий») 4.0 Всемирная (CC BY-NC-SA 4.0)
