Газочувствительные свойства многослойных структур por-SiO2/SnOx:Pt
DOI:
https://doi.org/10.25206/1813-8225-2018-159-107-109Ключевые слова:
пористый кремний, многослойные структуры, оксид олова, газочувствительные свойстваАннотация
Были получены многослойные композитные структуры на основе макропористого кремния и оксида олова с платиной. Методом растровой электронной микроскопии (РЭМ ) было установлено, что оксид олова равномерно покрывает поверхность макропористого кремния. Исследование газочувствительных свойств показало, что полученные тестовые композитные структуры с платиной обладают более высокой чувствительностью к молекулам газов
CO и CH4 при температуре 150 ºС, чем структуры с оксидом олова без платины.
Скачивания
Опубликован
Как цитировать
Выпуск
Раздел
Лицензия
Неисключительные права на статью передаются журналу в полном соответствии с Лицензией Creative Commons BY-NC-SA 4.0 «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция-Некоммерчески-СохранениеУсловий») 4.0 Всемирная (CC BY-NC-SA 4.0)