Формирование и структурные исследования интегрированных мембран на основе канального кремния

Аннотация

Предложен способ получения структур для интегрированных мембран на основе канального кремния.
В работе рассмотрены особенности формирования сквозных каналов в электронном кремнии в зависимости от состава электролита, концентрации носителей заряда и режимов анодного травления. Показано, что при использованных режимах формируются пористые структуры в форме «бутылочных горлышек». Установлено, что в электролите состава HF: C3H7OH для получения пористых слоев толщиной более 100 мкм необходимо прерывать процесс анодного травления, что обусловлено особенностями порообразования. Для электролита состава HF:(CH3)2CO продолжительность травления может быть более длительной, что связано с более высокой растворимостью водорода в ацетоне по сравнению с изопропанолом. Средний диаметр пор в данном электролите растет более медленно с глубиной по сравнению с использованием электролита HF:C3H7OH. Данный эффект можно объяснить облегчением
диффузии в структурах не только водорода, но и ионов фтора.