Влияние термического отжига на газовую чувствительность слоев нестехиометрического оксида марганца IV
DOI:
https://doi.org/10.25206/1813-8225-2020-172-102-105Ключевые слова:
оксид марганца, изохорный отжиг, газовый откликАннотация
Получены слои на основе нестехиометрических окислов марганца и изучены их газочувствительные свойства. Определена область температур изохронного отжига, при которой полученные слои проявляют повышенную чувствительность к сероводороду, диоксиду азота, аммиаку и токсичным органическим газам — ацетонитрилу и фенолу. Установлено усиление селективности к органическим газам при термическом воздействии.
Скачивания
Данные скачивания пока недоступны.
Опубликован
21.09.2020
Как цитировать
[1]
Стенькин, Ю.А. и Соколов, Д.В. 2020. Влияние термического отжига на газовую чувствительность слоев нестехиометрического оксида марганца IV. ОМСКИЙ НАУЧНЫЙ ВЕСТНИК. 4(172) (сен. 2020), 102–105. DOI:https://doi.org/10.25206/1813-8225-2020-172-102-105.
Выпуск
Раздел
Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы
Лицензия
Неисключительные права на статью передаются журналу в полном соответствии с Лицензией Creative Commons BY-NC-SA 4.0 «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция-Некоммерчески-СохранениеУсловий») 4.0 Всемирная (CC BY-NC-SA 4.0)
