Модифицирование пористого кремния с использованием импульсного ионного пучка наносекундной длительности

Аннотация

Исследовано влияние воздействия импульсного ионного пучка наносекундной длительности на морфологию, химический состав, электронную структуру пористого кремния. Исследовалась газовая чувствительность исходных и облученных образцов при экспозиции в NO2 и дегазации на воздухе. Оценивалась ее деградация с течением времени. Установлено, что как исходные, так и облученные образцы обладают чувствительностью к NO2. При этом у исходного пористого кремния она через 6 месяцев практически пропадает, а у облученного уменьшается через 3 месяца и затем сохраняется практически на том же уровне. Это является следствием формирования пассивирующей пленки, которая препятствует деградации состава и свойств пористого кремния при его контакте с окружающей средой. Наличие такой пленки, представленной высшим оксидом SiO2, подтверждается данными рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS).