Морфология и газовая чувствительность нанокомпозитов на основе пористого кремния и оксида олова, сформированных с использованием импульсных ионных пучков наносекундной длительности

Аннотация

Впервые проанализированы закономерности морфологии поверхностных слоев пористого кремния, а также композитов на их основе, сформированных с использованием мощных импульсных ионных пучков наносекундной длительности (МИП) с различной кратностью воздействия. Результаты показали, что наиболее рациональным режимом как для пористого кремния, так и для композитов является однократное радиационное воздействие. При таком модифицировании поверхностные структуры характеризуются более высокой дисперсностью кристаллитов por-Si и SnO_x и однородностью. Исследована газовая чувствительность сформированных с использованием МИП структур к диоксиду азота, а также процесс ее деградации с течением времени. Установлено, что наиболее перспективной из всех структур является композит por-Si/SnO_x, облученный одним импульсом МИП. Он обладает наилучшей газовой чувствительностью после создания и со временем меньше всех подвержен старению, являясь, таким образом, самым стабильным.