Повышение быстродействия и разрешающей способности акустооптических гетеродинных лазерных интерферометров перемещений. Адаптивный лазерный интерферометр

Авторы

  • Евгений Владимирович Леун АО «НПО Лавочкина», Московская область, г. Химки

DOI:

https://doi.org/10.25206/1813-8225-2020-171-92-98

Ключевые слова:

лазерный интерферометр, адаптивный интерферометр, фазовый сдвиг, фазовый интерполятор, фазометр, фазовая автоподстройка частоты, шумы сигнала, джиттер

Аннотация

В статье рассмотрены вопросы реализации в акустооптическом (АО) гетеродинном лазерном интерферометре (в дальнейшем — лазерный интерферометр) дифференциального двухтактного метода измерения перемещений при использовании фазового интерполятора и фазометра. Для снижения уровня шумов в измерительном сигнале введена система фазовой автоподстройки частоты с малым джиттером. В первом такте в начале движения объекта за счет высокой точности фазометра реализованы т.н. «медленные точные» измерения с высокой разрешающей способностью, вплоть до ≈ λ/10000, где λ — длина волны лазерного излучения. Для высокой скорости движения объекта используется второй такт «быстрых грубых» измерений при работе быстродействующего фазового интерполятора и блокировке фазометра. Подобным двухтактным принципом работы лазерного интерферометра улучшаются динамические и метрологические параметры измерений перемещений объекта.

Скачивания

Данные скачивания пока недоступны.

Биография автора

Евгений Владимирович Леун, АО «НПО Лавочкина», Московская область, г. Химки

кандидат технических наук, ведущий инженер.

Загрузки


Просмотров аннотации: 6

Опубликован

30.06.2020

Как цитировать

[1]
Леун, Е.В. 2020. Повышение быстродействия и разрешающей способности акустооптических гетеродинных лазерных интерферометров перемещений. Адаптивный лазерный интерферометр. ОМСКИЙ НАУЧНЫЙ ВЕСТНИК. 3(171) (июн. 2020), 92–98. DOI:https://doi.org/10.25206/1813-8225-2020-171-92-98.

Выпуск

№ 3(171) (2020)

Раздел

Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы

Лицензия

Неисключительные права на статью передаются журналу в полном соответствии с Лицензией Creative Commons BY-NC-SA 4.0 «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция-Некоммерчески-СохранениеУсловий») 4.0 Всемирная (CC BY-NC-SA 4.0)

by-nc-sa