Вопросы построения зондовых приборов активного контроля размеров изделий
DOI:
https://doi.org/10.25206/1813-8225-2018-160-127-133Ключевые слова:
активный контроль, размер изделия, сканер, вибродвигатель, пьезодвигатель, зондовая микроскопия, наконечникАннотация
В статье представлены зондовые приборы активного контроля (ПАК ) размеров изделий, описаны состав, варианты, принцип и режимы работы. Измерения осуществляются за счет двухкоординатных виброколебаний наконечника
по замкнутой траектории с участком сонаправленного движения и механического контактирования lк с поверхностью движущегося изделия. На этом участке наконечник движется vнак с небольшим отставанием от изделия vизд
с малой относительной скоростью Δv=vнак–vизд≈0, реализуя скользящее ощупывание, подобно игле профилометра или кантилевера, с измерением его положения по двум координатам lx и ly. Измерения состоят из последователь-
ности таких ощупываний.
Скачивания
Опубликован
Как цитировать
Выпуск
Раздел
Лицензия
Неисключительные права на статью передаются журналу в полном соответствии с Лицензией Creative Commons BY-NC-SA 4.0 «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция-Некоммерчески-СохранениеУсловий») 4.0 Всемирная (CC BY-NC-SA 4.0)
