Исследование межступенчатого канала комбинированного турбомолекулярного насоса
DOI:
https://doi.org/10.25206/2588-0373-2021-5-1-9-17Ключевые слова:
турбомолекулярный насос, молекулярный режим течения газа, метод Монте-Карло, проводимость канала, объемный поток газа, канал с движущимися стенками, откачная характеристика, диффузный закон отражения, сопротивлениеАннотация
Расчет реализовывается с помощью статистического подхода и основан на применении метода пробной частицы (Монте-Карло). Определяется вероятность прямого и обратного перехода молекул газа через канал между турбомолекулярной и молекулярной ступенями насоса. Учитывается воздействие подвижных стенок, ограничивающих канал. В результате исследования определено влияние геометрических и динамических параметров межступенчатого канала на вакуумные характеристики межступенчатого канала. Приведены зависимости вероятности перехода молекул газа через межступенчатый канал от относительных показателей, определяющих геометрию и динамику стенок канала.
Скачивания
Опубликован
Как цитировать
Выпуск
Раздел
Лицензия
Неисключительные права на статью передаются журналу в полном соответствии с Лицензией Creative Commons BY-NC-SA 4.0 «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция-Некоммерчески-СохранениеУсловий») 4.0 Всемирная (CC BY-NC-SA 4.0)