Методика расчёта откачной характеристики высоковакуумной системы с турбомолекулярным вакуумным насосом
DOI:
https://doi.org/10.25206/2588-0373-2018-2-1-65-71Ключевые слова:
вакуумная система, откачная характеристика, форвакуум, давление, турбомолекулярный насос, проводимость, быстрота действия, потокАннотация
Откачная характеристика высоковакуумной системы зависит от ряда факторов: откачной характеристики высоковакуумного турбомолекулярного насоса (ТМН), проводимости соединительных магистралей, откачной характеристики форвакуумной системы откачки, натекания газа в систему, а именно потоков газовыделения, потоков газа из-за негерметичности элементов конструкции. В работе рассмотрено влияние этих факторов на откачную характеристику вакуумной системы с ТМН. В работе предложен метод определения параметров форвакуумного насоса, обеспечивающåго улучшение откачной характеристики вакуумной системы с ТМН при повышенных давлениях всасывания.
Скачивания
Опубликован
Как цитировать
Выпуск
Раздел
Лицензия
Неисключительные права на статью передаются журналу в полном соответствии с Лицензией Creative Commons BY-NC-SA 4.0 «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция-Некоммерчески-СохранениеУсловий») 4.0 Всемирная (CC BY-NC-SA 4.0)