Влияние межступенчатого канала на эффективность молекулярной ступени комбинированного турбомолекулярного насоса
DOI:
https://doi.org/10.25206/2588-0373-2021-5-3-45-53Ключевые слова:
турбомолекулярный насос, молекулярный насос, проводимость канала, объемный поток газа, , канал с движущимися стенками, откачная характеристика, сопротивление, течение газаАннотация
Одним из факторов, оказывающих влияние на эффективность молекулярной ступени в составе комбинированного ТМН является межступенчатый канал. Исследуется влияние параметров канала на откачную характеристику молекулярной ступени. Предложенный подход позволяет проводить расчет откачной характеристики молекулярной ступени с учетом воздействия на процесс откачки межступенчатого соединительного канала. Приведено сравнение откачных характеристик молекулярной ступени, полученных при расчетах с учетом канала и без учета. Приводится оценка эффективности молекулярной ступени в составе комбинированного ТМН в зависимости от геометрически и динамических параметров канала. Изложенные результаты и рекомендации позволяют расширить диапазон рабочих давлений всасывания турбомолекулярного насоса посредством исключительно параметров соединительного канала.
Скачивания
Опубликован
Как цитировать
Выпуск
Раздел
Лицензия
Неисключительные права на статью передаются журналу в полном соответствии с Лицензией Creative Commons BY-NC-SA 4.0 «Attribution-NonCommercial-ShareAlike» («Атрибуция-Некоммерчески-СохранениеУсловий») 4.0 Всемирная (CC BY-NC-SA 4.0)