Блесман АИ, Бурлаков РБ. Зондовое устройство для электрических измерений параметров тонких легированных пленок ZnO. ОНВ [Интернет]. 10 март 2020 г. [цитируется по 21 ноябрь 2024 г.];(1(169):67-72. доступно на: https://journals.omgtu.ru/index.php/onv/article/view/841