Чернявский ДИ, Чернявский ДД. Кинематический расчет элементов микрозеркал микроэлектромеханических систем (MEMS). ОНВ [Интернет]. 5 март 2021 г. [цитируется по 21 ноябрь 2024 г.];(1(175):5-11. доступно на: https://journals.omgtu.ru/index.php/onv/article/view/723