Чернявский ДИ, Чернявский ДД. Расчет на прочность торсионной подвески микрозеркала (MEOMS). ОНВ [Интернет]. 15 июнь 2021 г. [цитируется по 24 ноябрь 2024 г.];(3(177):5-12. доступно на: https://journals.omgtu.ru/index.php/onv/article/view/687