Поворознюк СН, Росликов ВЕ. Модифицирование пористого кремния с использованием импульсного ионного пучка наносекундной длительности. ОНВ [Интернет]. 4 июль 2018 г. [цитируется по 23 ноябрь 2024 г.];(3(159):75-9. доступно на: https://journals.omgtu.ru/index.php/onv/article/view/1083