Бурлаков РБ. Простой способ оценки толщины нанометровой прозрачной пленки SiO в процессе ее термовакуумного осаждения. ОНВ [Интернет]. 23 ноябрь 2018 г. [цитируется по 22 ноябрь 2024 г.];(5(161):115-8. доступно на: https://journals.omgtu.ru/index.php/onv/article/view/1020