[1]
В. В. Болотов, К. Е. Ивлев, и И. В. Пономарева, «Получение макропористых слоев на подложках n-Si в HF-содержащем электролите с добавлением HCl», ОНВ, вып. 3(171), сс. 65–69, июн. 2020.