ЧЕРНЯВСКИЙ, Д. И.; ЧЕРНЯВСКИЙ, Д. Д. Кинематический расчет элементов микрозеркал микроэлектромеханических систем (MEMS). ОМСКИЙ НАУЧНЫЙ ВЕСТНИК, [S. l.], n. 1(175), p. 5–11, 2021. DOI: 10.25206/1813-8225-2021-175-5-11. Disponível em: https://journals.omgtu.ru/index.php/onv/article/view/723. Acesso em: 21 ноя. 2024.