Чернявский, Д. И., & Чернявский, Д. Д. (2021). Кинематический расчет элементов микрозеркал микроэлектромеханических систем (MEMS). ОМСКИЙ НАУЧНЫЙ ВЕСТНИК, (1(175), 5–11. https://doi.org/10.25206/1813-8225-2021-175-5-11