Поворознюк, С. Н., & Росликов, В. Е. (2018). Модифицирование пористого кремния с использованием импульсного ионного пучка наносекундной длительности. ОМСКИЙ НАУЧНЫЙ ВЕСТНИК, (3(159), 75–79. https://doi.org/10.25206/1813-8225-2018-159-75-79