[1]
Чернявский, Д.И. и Чернявский, Д.Д. 2021. Кинематический расчет элементов микрозеркал микроэлектромеханических систем (MEMS). ОМСКИЙ НАУЧНЫЙ ВЕСТНИК. 1(175) (мар. 2021), 5–11. DOI:https://doi.org/10.25206/1813-8225-2021-175-5-11.