Определение удельного сопротивления омических контактов к полупроводниковым пластинам методом Кокса–Стрека - Бурлаков, Рудиарий Борисович (ОМСКИЙ НАУЧНЫЙ ВЕСТНИК, 2018)
Рассмотрен модифицированный вариант метода Кокса–Стрека, который позволяет уменьшить количество фронтальных контактов на тестовом образце до 2 и одновременно исключить операцию экстраполяции графиков при определении удельного контактного сопротивления ρК. Показано, что вклад контактного сопротивления RK в полное сопротивление RT тестовой структуры принимает более высокие значения, когда диаметр d фронтального контакта лежит в интервале 40–1040 мкм, что способствует более эффективному процессу контроля удельного сопротивления омических контактов к полупроводниковым пластинам.